常用残余气体分析仪

 

  规格 技术参数 用途  
有机气体残余气体检测仪 HBD5Gas2290 55ppb- 普适型。便携式残余气体浓度检测,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。  
有机气体残余气体浓度计 TBD5Gas2290 55ppb- 普适型。残余气体浓度连续监测,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。  
有机气体残余气体在线监测系统 CGA2290 55ppb- 普适型。残余气体浓度连续监测 ,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。  
在线气体浓度计 TCD2220 0.01-100% 普适型。残余气体浓度连续分析。热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。 可在低真空系统直接安装。 残余气体分析仪
四极质谱仪 QMS2740 CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb 用于在线监测的真空设备,主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围,优于1amu的分辨率,5×10-4Torr的探测极限 。主要用于氮气、氢气等光学惰性双原子气体。  
微量气体检测系统 LGA4812-39370 ppm~% 普适型。可用于对紫外有吸收的各种残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。  
微量气体检测系统 LGA4812-6060 ppm~% 普适型。可用于各种有机碳氢化合物残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。  
微量气体检测系统 LGA4821 ppm~% 选择性监测。可用于特定残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。  
微量气体检测系统 PGA4160 ppm~% 选择性监测。可用于特定残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。  

 

[气体分析项目工况调查表]

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